导读:中国生产高端芯片的弯道超车,清华大学公开中国版的EUV光刻工厂方案,中国版的EUV光刻工厂要来了。
芯片是现化科技最重要的零件,而高端芯片则是代表高端科技的前沿,然而生产高端芯片非常困难,在一系列生产过程当中,光刻的过程是最为复杂和困难的,需要有极高端光源控制系统才能光刻出芯片所需要的步骤。
目前为止全世界能够使用到最高端芯片全部是用荷兰ASML的EUV光刻机来生产,这种EUV光刻机目前在代工厂能生产出7NM,5NM,甚至是3NM的芯片,EUV光刻机能够使用较小功率来达到生产高端芯片。不过由于美国的阻挡,荷兰一直没有将这种EUV光刻机卖给中国的厂商。没有EUV光刻机难道就真的没办法生产高端芯片了吗?中国的答案是否定的。中国要用弯道超车来达到生产高端芯片。
今年早些时候中国已经在雄安新开始稳态微聚束(SSMB)极紫外光源设施项目的建设。稳态微聚束(SSMB)极紫外光源就是中国生产高端芯片的高端。根据清华大学此前所说:这是一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”(英文缩写SSMB)的首个原理验证实验。基于SSMB原理,能获得高功率、高重频、窄带宽的相干辐射,波长可覆盖从太赫兹到极紫外(EUV)波段,有望为光子科学研究提供广阔的新机遇,助力解决自主研发光刻机中的“卡脖子”难题。
清华大学的唐传祥教授解释说:大功率EUV光源的突破对于EUV光刻进一步的应用和发展至关重要。基于SSMB的EUV光源有望实现大的平均功率,并具备向更短波长扩展的潜力,为大功率EUV光源的突破提供全新的解决思路。
而据网友们对这个实验装备的简单科普就是,荷兰的ASML光刻机是用一台机器里的光源去生产芯片。而中国弯道超车的这个技术而是建造一个光刻工厂,让光源在工厂的装置里跑,这个装备可以配备各类光刻机来生产芯片,这样一来不光能生产出高端芯片还能降低能耗和提高量产数量,荷兰的是光刻机,清华大学的方案是直接建造一个光刻厂来生产芯片。
由于这个项目是清华大学在两年前提出的申请,现在已经进入到了建设阶段,可以说已经到了实施的关键时刻,相信中国人用上独立自主生产的高端芯片的日子已经近在眼前了。
评论列表