8月21日，半导体设备ETF基金（159327）开盘涨0.14%，报1.389元。半导体设备ETF基金（159327）重仓股方面，北方华创开盘涨0.00%，中微公司涨0.10%，沪硅产业涨0.00%，华海清科涨0.01%，南大光电涨0.00%，拓荆科技涨0.63%，长川科技涨0.10%，中科飞测跌0.67%，安集科技跌0.06%，芯源微跌1.45%。

半导体设备ETF基金（159327）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为万家基金管理有限公司，基金经理为贺方舟，成立（2024-07-24）以来回报为38.83%，近一个月回报为11.40%。

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