8月20日，科创半导体设备ETF（588710）开盘跌0.35%，报1.135元。科创半导体设备ETF（588710）重仓股方面，华海清科开盘涨0.63%，中微公司涨0.01%，拓荆科技跌0.23%，安集科技跌0.12%，芯源微跌0.33%，中科飞测跌0.09%，华峰测控涨0.00%，盛美上海跌0.23%，富创精密跌0.48%，中芯国际涨0.06%。

科创半导体设备ETF（588710）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率，管理人为华泰柏瑞基金管理有限公司，基金经理为李沐阳，成立（2025-05-26）以来回报为13.70%，近一个月回报为7.69%。

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