光刻机概念核心公司
（一）整机
张江高科：持股上海微电子10.779%的股份
上海电气：母公司上海微电子第一大股东
东方明珠：通过间接持股上海微电子
奥普光电：长春光机所为公司实际控制人，长春光机所生产光刻机
（二）光源
波长光电：光刻机平行光源系统
茂莱光学：精密光学器件已应用于国产光刻机
福晶科技：全球最大LBO、BBO非线性光学晶体生产商
（三）光学器件
腾景科技：多波段合分束器已进入微电子供应链
苏大维格：向上海微电子提供光刻机用的定位光栅产品
炬光科技：提供光刻机曝光系统里面核心元器件光场匀化器
京华激光：控股国外公司在光刻机微结构光学方面实力较强
晶方科技：下属荷兰ANTERYON公司服务国际领先光刻机厂商
（四）洁净设备
蓝英装备：精密清洗设备面向高端芯片制造行业企业客户
美埃科技：提供最高洁净等级标准的设备，国外企业供应商白名单
国林科技：产品用于CVD、ALD、晶圆清洗、污染物及光刻胶去除等工艺中
（五）温控
海立股份：微电子装备集团的系统级合作商
同飞股份：液体恒温设备应用于光刻机等领域的温度控制
（六）物镜
赛微电子：光刻机厂商的MEMS透镜部件供应商
（七）控制器
电科数字：子公司可供货光刻机控制器
（八）结构件
金力泰：超微弧氧化技术可应用于光刻机设备零部件的表面处理；子公司是上海微电子供应商。
（九）维修服务
东方嘉盛：提供光刻机寄售维修服务
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