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纯预测SMIC在没有EUV光刻机的前提,应该如何走到N5工艺,可以做以下假设..

纯预测SMIC在没有EUV光刻机的前提,应该如何走到N5工艺,可以做以下假设...

参考英特尔的路线,靠DUV光刻机做i-SAQP,使得MMP从40nm→30nm,这样能迈入N5的节点。