最近半导体圈又热闹了。咱们在EUV光刻机光源系统上搞出大动作，可把荷兰ASML公司急坏了，CEO富凯跳出来泼冷水，说"中国离造出整机还早着呢"。

这话说得，怎么听着像隔壁老王看我家盖新房，一边酸溜溜说"就你们这进度，十年都住不上"，一边偷偷往我家院墙根儿瞅呢？

先给不熟悉的朋友补补课。EUV光刻机就是芯片制造界的"原子弹"，没有它，7纳米以下的芯片想都别想。现在全球就ASML能造，可人家卖不卖给你，得看美国脸色。咱们这些年憋着股劲儿要自己搞，就跟当年造原子弹似的，知道这玩意儿卡脖子，必须得有。

要说这EUV光刻机最难啃的骨头，就是那个能发出13.5纳米极紫外线的光源系统。ASML现在用的是二氧化碳激光打锡滴，听着像科幻片里的武器，其实就是用高能激光轰击直径30微米的锡珠，轰出等离子体来发光。

这法子有个要命的缺点——费电，转换效率才3%，相当于你开100瓦的灯，实际亮堂的只有3瓦，剩下的全变成热量了，所以EUV光刻机都是"电老虎"。

这回咱们上海光机所的林楠团队可支棱起来了。人家不走寻常路，用1微米的固体激光打锡靶材，愣是搞出了同样的13.5纳米极紫外线。更厉害的是，转换效率翻了个倍，接近6%！这可不是小打小闹，就像把老式白炽灯换成了LED，省电不说，亮度还更高。

说到林楠这人，那可是半导体界的"海归大牛"。在ASML当过研发主管，导师是曾经的诺贝尔物理学奖得主，妥妥的学霸配置。

2021年他回国效力，就像钱学森当年冲破重重阻力回国造导弹，这次是回来搞光刻机。人家把论文都发在《中国激光》上了，白纸黑字摆着，ASML再怎么嘴硬也遮不住这事实。

不过ASML的富凯说得也没错，造EUV光刻机确实不是只搞定光源就完事。这就跟造汽车似的，你搞定了发动机，还得有变速箱、底盘、车身这些个系统。EUV光刻机另外两大难关——物镜系统和工作台，咱们还在爬坡。物镜要像手术刀那么精准，工作台得像跳舞的机器人一样灵活，这些都需要时间磨。

但话说回来，当年咱们搞"两弹一星"，不也是从零开始，一个一个难关啃下来的？现在EUV光源突破了，就好比造出了原子弹的铀核心，剩下的虽然难，但有了这个基础，心里就有底了。就像爬珠峰，已经过了北坳这个最难的路段，剩下的虽然还要走，但顶峰在望了。

ASML现在急赤白脸地唱衰，其实心里慌得很。他们自己都承认，中国要是把EUV搞成了，他们那些高端设备就得白菜价。你看现在DUV光刻机，咱们已经能造了，等EUV一出来，他们那100%的垄断还不得塌方？

所以说，富凯现在跳脚的样子，就像当年荷兰殖民者看着郑成功收台湾。历史总是惊人地相似，技术封锁从来锁不住自强不息的中国人。从两弹一星到空间站，从超级计算机到量子通信，哪次不是被卡脖子，哪次不是杀出重围？这次EUV光刻机，咱们就踏踏实实搞，用不了多久，准能让ASML那帮人目瞪口呆。